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本文目录一览:
- 1、bgbm工艺全称
bgbm工艺全称
1、半导体bgbm。BG:是背面减薄(BacksideGridding),采用In-Feed削磨的方式,将晶圆厚度减薄到目的厚度。提高芯片热扩散效率、电性能、机械性能,减小封装体积,及划片加工量。
2、根据查询相关资料显示,BGBM是研磨和蚀刻晶圆的工艺步骤,该工艺的中文全称是背面减薄金属化。BG:是背面减薄(BacksideGridding),采用In-Feed削磨的方式,将晶圆厚度减薄到目的厚度。提高芯片热扩散效率、电性能、机械性能,减小封装体积,及划片加工量。
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